磁控溅射领域里，脉冲电源一般指的是直流脉冲电源，顾名思义，一就是直流输出以脉冲通断的形式加载在阴极上。

而常用的脉冲电源，如AE pinnacle plus+，韩国EN以及德国霍廷格均有相关型号。

Pinnacle plus 可调频率从5kHz~350kHz。非常适合新涂层开发。其可以采用恒功率输出，恒电压输出，横电流输出三种模式。其中可调的参数除了脉冲频率，还包含reverse time。何谓reverse time呢？顾名思义，常规输出周期为负电压，而其余周期内电压并不为零，表现为正电压，也就是我们常说的反向偏压。如下图：

而反向偏压的维持周期也就是reverse time，中文称之为脉宽。脉冲周期减去脉宽等于一个周期的电源实际工作时间。

反向电压的好处有几个：

一、可以在正电压周期内，中和靶面的多余电荷，避免靶材中毒情况的发生。

二、减少起弧打火的几率，避免结瘤。

三、促进正离子轰击基片，从而获得更致密膜层。

所以，根据不同的靶材以及工艺需要，调节合适的reverse time参数显得十分重要。

目前，个别场合中频已经取代了脉冲电源在使用，但是科研新材料工艺以及刀具涂层领域，脉冲电源仍然具有无可匹敌的优势。