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脉冲电源的reverse time

磁控溅射领域里,脉冲电源一般指的是直流脉冲电源,顾名思义,一就是直流输出以脉冲通断的形式加载在阴极上。

而常用的脉冲电源,如AE pinnacle plus+,韩国EN以及德国霍廷格均有相关型号。

Pinnacle plus 可调频率从5kHz~350kHz。非常适合新涂层开发。其可以采用恒功率输出,恒电压输出,横电流输出三种模式。其中可调的参数除了脉冲频率,还包含reverse time。何谓reverse time呢?顾名思义,常规输出周期为负电压,而其余周期内电压并不为零,表现为正电压,也就是我们常说的反向偏压。如下图:


而反向偏压的维持周期也就是reverse time,中文称之为脉宽。脉冲周期减去脉宽等于一个周期的电源实际工作时间。

反向电压的好处有几个:

一、可以在正电压周期内,中和靶面的多余电荷,避免靶材中毒情况的发生。

二、减少起弧打火的几率,避免结瘤。

三、促进正离子轰击基片,从而获得更致密膜层。

所以,根据不同的靶材以及工艺需要,调节合适的reverse time参数显得十分重要。

目前,个别场合中频已经取代了脉冲电源在使用,但是科研新材料工艺以及刀具涂层领域,脉冲电源仍然具有无可匹敌的优势。


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